涡轮分子泵Turbo Molecular Pump

涡轮分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10^-8Pa），具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点。分子泵运行时须有前级泵工作和专用电源供电。

应用领域Applications 

广泛应用于镀膜、电子、半导体、太阳能、真空炉、化工、离子刻蚀、光盘制造、制灯、航空航天、核能源等相关行业和教学、科研单位。

优势 Advantages  

规格齐全，抽气速度从600L/S到3600L/S

叶片角度、厚度优化设计，抽气速度、真空度和耐冲击可靠性更优

 泵十级动片设计，比普通多一级或二级，压缩比性能更佳

节能，功率消耗低（相比其他高真空泵）

U型整体水冷管设计，充分保障分子泵轴承冷却，泵的可靠性更好

全面质量体系，泵整机出厂前经过二十多项严格检测

泵动平衡精度高，长期运行平稳可靠

主动式服务，让客户买的放心、用的安心、感到暖心

FF油润滑涡轮分子泵   Oil Lubricated Turbo Molecular Pump

经典款，稳定性能好

真空性能好，极限真空度可达10^-8 Pa

轴承油润滑，能连续长时间运行

可获得清洁真空（相比油扩散泵）

采用高性能陶瓷轴承和高强度材料

有温度过热保护功能

低噪音，运行时声音分贝数较低

冷却方式可选择风冷或水冷

技术指标Technical Specifications

FFB 脂润滑涡轮分子泵 Grease Lubricated Turbo Molecular Pump 

任意角度安装，使用方便

真空性能好，极限真空度可达10^-8 Pa

特种脂润滑，能连续长时期运行

可获得清洁真空（相比油扩散泵）

采用高性能陶瓷轴承和高强度材料

有温度过热保护功能

低噪音，运行时声音分贝数较低

冷却方式可选择风冷或水冷

技术指标Technical Specifications