K、KT系列油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵, 是获得高真空或超真空的主要设备。可达到高真空(可达10-2~10-5Pa),对各种气体无选择性,结构简单,没有机械运动部件,操作方便,便于维护。
应用领域APPLICATIONS
油扩散真空泵广泛应用于电子工业、化学工业、真空冶炼、原子能工业,高科技行业,真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
技术指标TECHNICAL SPECIFICATIONS
原理结构图
1 加热器 2 排气口法兰 3排气口密封圈 4 油挡 5 泵芯
6 泵壳 7 冷却水管 8 进气口法兰 9 进气口密封圈
前级泵将扩散泵泵腔内抽到10pa左右后,具有低饱和蒸汽压的工作液,由加热器加热,产生的油蒸汽沿蒸汽导管向上运动;经几级喷嘴定向,高速喷出,将扩散在油蒸汽中的气体带到前级端,油蒸汽喷射在泵壁后,遇到冷却后,又流回到泵底,由此循环重复工作,从而达到高真空目的
尺寸与图片