超 高 真 空 插 板 阀
超高真空插板阀
CC型超高真空插板阀是以手柄带动阀杆上下运动使阀板开启或关闭。阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。
适用范围 Pa |
10 5 ～1×10 -7 |
漏率 Pa.1/s |
DN≤200时 ≤1.3×10 -7 |
DN≥250时 ≤6.7×10 -7 |
烘烤温度 ℃ |
≤ 150（传动装置除外） |
开阀时阀板两侧压力差 Pa |
≤ 2.7×10 3 |
CCQ型气动超高真空插板阀
CCQ型气动超高真空插板阀是以压缩空气为动力源，经电磁换向阀由气缸活塞杆带动阀板作上下运动，达到阀门开启或关闭。阀门是用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。
适用范围 Pa |
10 5 ～1×10 -7 |
漏率 Pa.1/s |
DN≤200时 ≤1.3×10 -7 |
DN≥250时 ≤6.7×10 -7 |
烘烤温度 ℃ |
≤ 150（传动装置除外） |
气源压力 Mpa |
0.4～0.6 |
开阀时阀板两侧压力差 Pa |
≤ 2.7×10 3 |
CCD型电动超高真空插板阀
CCD型电动超高真空插板阀是以电源为动力源，通过电动装置使阀杆带动阀板作上下运动。达到阀门开启或关闭。阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。
适用范围 Pa |
10 5 ～1×10 -7 |
漏率 Pa.1/s |
DN≤200时 ≤1.3×10 -7 |
DN≥250时 ≤6.7×10 -7 |
烘烤温度 ℃ |
≤ 150（传动装置除外） |
电源 V/Hz |
220/50 |
开阀时阀板两侧压力差 Pa |
≤ 2.7×10 3 |
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