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超 高 真 空 插 板 阀

 
 

超高真空插板阀

CC型超高真空插板阀是以手柄带动阀杆上下运动使阀板开启或关闭。阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

适用范围 Pa

10 5 ~1×10 -7

漏率 Pa.1/s

DN≤200时 ≤1.3×10 -7

DN≥250时 ≤6.7×10 -7

烘烤温度 ℃

≤ 150(传动装置除外)

开阀时阀板两侧压力差 Pa

≤ 2.7×10 3 

CCQ型气动超高真空插板阀
CCQ型气动超高真空插板阀是以压缩空气为动力源,经电磁换向阀由气缸活塞杆带动阀板作上下运动,达到阀门开启或关闭。阀门是用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

适用范围 Pa

10 5 ~1×10 -7

漏率 Pa.1/s

DN≤200时 ≤1.3×10 -7

DN≥250时 ≤6.7×10 -7

烘烤温度 ℃

≤ 150(传动装置除外)

气源压力 Mpa

0.4~0.6

开阀时阀板两侧压力差 Pa

≤ 2.7×10 3 

CCD型电动超高真空插板阀
CCD型电动超高真空插板阀是以电源为动力源,通过电动装置使阀杆带动阀板作上下运动。达到阀门开启或关闭。阀门适用于超高真空系统中切断或接通气流之用。适用的工作介质为洁净的空气及非腐蚀性气体。

适用范围 Pa

10 5 ~1×10 -7

漏率 Pa.1/s

DN≤200时 ≤1.3×10 -7

DN≥250时 ≤6.7×10 -7

烘烤温度 ℃

≤ 150(传动装置除外)

电源 V/Hz

220/50

开阀时阀板两侧压力差 Pa

≤ 2.7×10 3