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FZF/FZ分子泵


分子泵是一种高真空获得设备(真空度可高达10-8Pa),其具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点,广泛应用于电子、化工、离子刻蚀、光盘制造、半导体、太阳能、真空炉、镀膜、制灯等工业企业和教学、科研事业单位。分子泵运行时须有前级泵和专用电源供电

产品型号

FZ-100/120

(涡轮)

FZF-100/120

(复合)

FZF-150/600

FZF-200/1200

FZF-250/1600

抽气速率(L/S

120L /S

600L /S

1200L /S

1600L /S

压缩比N2

108

109

109

109

109

压缩比H2

5×102

8×103

8×103

8×104

8×104

极限压强(Pa

6×10-8

6×10-7

5×10-8

5×10-7

2×10-8

1×10-7

2×10-8

1×10-7

2×10-8

1×10-7

高真空法兰

LF100

CF100

LF100

CF100

XF150

CF150

XF200

CF200

XF250

CF250

排气口法兰

KF25

KF40

KF40

KF50

启动加速时间(min

2min

5min

5min

7min

电机转速(n/min

42300n/min

24000n/min

24000n/min

24000n/min

最小不平衡量(mg

15mg

15mg

15mg

15mg

建议采用前级泵

2L /S

机械泵48L/S

机械泵815L/S

机械泵 15L /S

充油量(ml

12ml

 

 

 

安装方式

垂直或水平

垂直±5°

垂直±5°

垂直±5°

冷却方式

水冷+风冷

水冷或风冷

水冷或风冷

水冷或风冷

冷却水温度(

20

20

20

20

环境使用温度(

风冷<32℃水冷<40

风冷<32

水冷<40

风冷<32℃

水冷<40

风冷<32℃

水冷<40

泵体烘烤温度(

100

100℃

100℃

100℃

泵重量(kg

8.5kg

30kg

36kg

40kg

外形尺寸(mm)

¢180x310

280x416

320x428

340x427