|
|
FZF/FZ分子泵
分子泵是一种高真空获得设备（真空度可高达10-8Pa），其具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点，广泛应用于电子、化工、离子刻蚀、光盘制造、半导体、太阳能、真空炉、镀膜、制灯等工业企业和教学、科研事业单位。分子泵运行时须有前级泵和专用电源供电
   
产品型号
|
FZ-100/120
（涡轮）
|
FZF-100/120
（复合）
|
FZF-150/600
|
FZF-200/1200
|
FZF-250/1600
|
抽气速率（L/S）
|
120L
/S
|
600L
/S
|
1200L
/S
|
1600L
/S
|
压缩比N2
|
108
|
109
|
＞109
|
＞109
|
＞109
|
压缩比H2
|
5×102
|
8×103
|
＞8×103
|
＞8×104
|
＞8×104
|
极限压强（Pa）
|
6×10-8
|
6×10-7
|
5×10-8
|
5×10-7
|
＜2×10-8
|
＜1×10-7
|
＜2×10-8
|
＜1×10-7
|
＜2×10-8
|
＜1×10-7
|
高真空法兰
|
LF100
|
CF100
|
LF100
|
CF100
|
XF150
|
CF150
|
XF200
|
CF200
|
XF250
|
CF250
|
排气口法兰
|
KF25
|
KF40
|
KF40
|
KF50
|
启动加速时间（min）
|
＜2min
|
＜5min
|
＜5min
|
＜7min
|
电机转速（n/min）
|
42300n/min
|
24000n/min
|
24000n/min
|
24000n/min
|
最小不平衡量（mg）
|
15mg
|
15mg
|
15mg
|
15mg
|
建议采用前级泵
|
2L
/S
|
机械泵4～8L/S
|
机械泵8～15L/S
|
机械泵
15L
/S
|
充油量（ml）
|
12ml
|
|
|
|
安装方式
|
垂直或水平
|
垂直±5°
|
垂直±5°
|
垂直±5°
|
冷却方式
|
水冷+风冷
|
水冷或风冷
|
水冷或风冷
|
水冷或风冷
|
冷却水温度（℃）
|
＜
20℃
|
＜
20℃
|
＜
20℃
|
＜
20℃
|
环境使用温度（℃）
|
风冷＜32℃水冷＜40℃
|
风冷＜32℃
水冷＜40℃
|
风冷＜32℃
水冷＜40
|
风冷＜32℃
水冷＜40
|
泵体烘烤温度（℃）
|
＜100
℃ |
＜
100℃
|
＜
100℃
|
＜
100℃
|
泵重量（kg）
|
8.5kg
|
30kg
|
36kg
|
40kg
|
外形尺寸(mm)
|
￠180x310
|
￠280x416
|
￠320x428
|
￠340x427
|
|
|
| |
