FX.FG系列分子机组

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FX型系列分子泵机组是分子泵,前级机械泵，隔断放气阀，前级管路、分子泵电源，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

FX分子泵机组技术性能:

产品型号
FX-110
FX-620
进气口法兰
DN100LF/DN100CF
DN160LF/DN160CF
抽气速率L/S（对空气）
＞110
＞600
压缩比??? N2
????????? H2
＞108
5×102
＞109
6×103
极限压强（Pa）
6×10-6/6×10-7
6×10-6/6×10-7
排气口法兰
KF25
KF40
使用轴承
精密机械轴承
精密轴承
输入电压频率（V/Hz）
220±20/50
380±20/50
环境温度（℃）
0～40
0～40
前级泵型号
TRP-4
TRP-6
启动时间（min）
＜3
＜5
额定工作转数（rpm）
42，300
27，000
冷却方式
水冷可风冷
水冷
安装方式
任意
任意
重量（公斤）
52
-
长×宽×高
500×510×685
-