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FX.FG系列分子机组

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FX型系列分子泵机组是分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

FX分子泵机组技术性能:

产品型号
FX-110
FX-620
进气口法兰
DN100LF/DN100CF
DN160LF/DN160CF
抽气速率L/S(对空气)
>110
>600
压缩比??? N2
????????? H2
>108
5×102
>109
6×103
极限压强(Pa)
6×10-6/6×10-7
6×10-6/6×10-7
排气口法兰
KF25
KF40
使用轴承
精密机械轴承
精密轴承
输入电压频率(V/Hz)
220±20/50
380±20/50
环境温度(℃)
0~40
0~40
前级泵型号
TRP-4
TRP-6
启动时间(min)
<3
<5
额定工作转数(rpm)
42,300
27,000
冷却方式
水冷可风冷
水冷
安装方式
任意
任意
重量(公斤)
52
-
长×宽×高
500×510×685
-